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手动测量仪器的误差主要来源于哪些
- 2022-06-29-

要了解手动测量仪的测量精度,就必须了解视频测量仪的误差来源。影像测量仪上的测量是单轴或二维平面坐标的测量。测量时,先对焦,再对齐,读取(计数),然后计算处理。读数来自标尺,即光栅系统,聚焦依赖于光学成像系统,还有直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,对于成像法测量的仪器,如果被测物体不能得到有效、正确的照明,则测量结果明显偏离其真实尺寸。除上述因素外,环境条件也是制约测量精度的因素,不容忽视。基于以上分析,可以总结出以下几个方面的误差来源。

1)光栅尺计数误差;

2)工作台移动时直线度和角摆造成的误差;

3)工作台两个测量轴的垂直度误差;

4)镜片光轴与工作台不垂直带的误差;

5)测量环境温度变化引起的误差;

6) 光源照明条件变化引起的对焦和对准误差。

在这些因素中,前四个误差为硬件误差,在影像测量仪的制造过程中已经形成并固定,一般无法改变。以减少其影响。然后一项经常被忽略。在实际测量中,当光源的光照条件发生变化时,直接影响到被测工件的光照效果和图像质量。如果图像测量仪的图像是通过CCD接收的,虽然CCD具有自动调节增益的功能,但是当亮度过高时,就会失去调节功能,导致工件的图像缩小到被测量。当亮度过低时,工件的图像会变大。

这种影响,在测量重复图案结构之间的间距时,只要光照条件在整个测量过程中保持不变,就可以忽略,因为每个重复图案结构同时变大或变小,间距的测量可以忽略.计算直接消除了图像变形的影响,如测量玻璃尺、格板间距;除此特殊情况外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度,都会带来明显的误差。


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